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纳米科技重点专项“基于光子束调制的跨尺度微纳结构加工与器件应用研究”项目正式启动

发表日期::2016-12-09 02:27     打印  放大 缩小  【关闭

10月18日,国家重点研发计划纳米科技重点专项“基于光子束调制的跨尺度微纳结构加工与器件应用研究”项目启动会在中科院理化所召开。科技部高技术发展研究中心闫金定处长,解思深院士、范守善院士、许祖彦院士、黄如院士、朱星教授等项目咨询专家组专家,项目牵头单位及参加单位领导,项目负责人、课题负责人、课题科研财务助理及部分项目骨干等参加了会议。

会上,闫金定处长就2016年度纳米科技重点专项的基本情况、重点专项管理、管理流程方案、项目承担单位和负责人的职责与要求等做了详细介绍,明确了纳米科技重点专项项目重立项、重过程、重验收的三重原则,并对项目的执行和管理提出了指导性意见和建议。中国科学院理化技术研究所张丽萍所长、汪鹏飞副所长表示,作为项目牵头单位,研究所将充分落实单位法人责任制,积极支持项目负责人开展工作,协调做好项目的组织实施、经费管理和支撑保障工作,确保项目顺利实施和各项任务的高质量完成。项目负责人段宣明研究员及各课题负责人详细汇报了项目及子课题的研究内容、研究方案和研究目标及下一阶段主要工作计划等。

项目咨询组专家针对项目研究内容和目标提出了指导性建议,希望项目承担单位科研人员围绕有限目标,针对光子束超衍射纳米加工工艺特点在器件设计方面充分发挥创造力,在研究过程中做出更多原创性成果。项目启动会的成功召开,进一步增进了专业机构和项目承担单位之间的沟通交流,明确了项目管理职责,为项目顺利实施奠定了基础。

“基于光子束调制的跨尺度微纳结构加工与器件应用研究”项目由中国科学院理化技术研究所联合中国科学院重庆绿色智能研究院、中国科学院半导体研究所、北京大学等单位承担,该项目在前期“纳米研究”国家重大科学研究计划项目“光子束超衍射纳米加工技术与应用基础研究”(2010-2014年)的基础上,提出了发展基于光子束调制的无掩模跨尺度微纳器件加工新技术,最终目标是将该跨尺度光刻技术与半导体工艺结合,应用于量子效应硅纳米线晶体管、谐振型微光学陀螺仪、自对准围栅纳米线等微纳器件的制备。

科技部高技术发展研究中心闫金定处长致辞

解思深院士主持会议

理化所副所长汪鹏飞致辞

与会人员合影